作者：尹韬,杨海钢,刘珂 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》2007年第05期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX2007050320 DOC编号：DOCBDTX2007050329 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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