作者：梁凤超,续志军,胡君,邹振书 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2007年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2007030180 DOC编号：DOCCGQJ2007030189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微弱电流的放大与处理是基于位置敏感探测器(PSD)的微位移传感器的关键技术。分析了电流—电压转换原理，指出转换误差主要来源于偏置电流及失调电压。应用屏蔽、Guard、避免自激等技术设计了前放电路，实现了微弱电流信号的提取。传感器工作距离为10 mm，测量范围为&#177；0.5 mm，采用精度为&#177；0.5μm的装置驱动钢板进行微位移测量，实验数据表明：传感器分辨力为&#177；0.5μm，检测精度为&#177；2%。

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