作者：何平,赵红东,潘国峰 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2007年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2007070060 DOC编号：DOCCGJS2007070069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研制了一种适合于乙醇检测的新型TiO2基薄膜气敏传感器.敏感材料是采用直流磁控反应溅射法制备在Al2O3陶瓷管上的TiO2薄膜，薄膜经过退火处理(500℃、3 h)后，得到对乙醇蒸汽具有很好选择性和灵敏度的锐钛矿相TiO2，其最佳工作温度为270℃左右，响应时间2 s，恢复时间3 s.测量电路采用以ARM7为核的LPC2131微控制器实时监测电源电压，自动调整占空比，从而实现对加热温度的精确控制.通过测量敏感薄膜的电阻，并与乙醇气体浓度进行校准，最终显示被测气体的浓度.整个传感器采用低功耗设计，具备报警功能，同时提供了一个友好的用户界面。

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