《MEMS微波功率传感器的共面波导优化设计》PDF+DOC

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2. 《双通道MEMS微波功率传感器的悬臂梁设计》PDF+DOC 为实现热电式MEMS微波功率传感器与电容式MEMS微波功率传感器的兼容，得到一种性能优良的双通道MEMS微波功率传感器，需要对MEMS悬臂梁的匹配特性进行分析与设计。根据MEMS悬臂梁的一维集中参数模型，分析了MEMS悬臂梁的吸合电压，研究了MEMS悬臂梁的位移与电容的变化关系以及MEMS悬臂梁的谐......
3. 《基于介质嵌层的热电式微波功率传感器特性研究》PDF+DOC 为改善热电式MEMS微波功率传感器的电-热-电转换效率，提出了一种新型介质嵌层结构。选用Si_3N_4、新型材料石墨烯分别作为介质嵌层。建立介质嵌层结构的热学模型，采用Ansys软件对热学特性进行了仿真。结果表明，当石墨烯作为介质嵌层时，热电偶热端的温度提高了12 K，有效改善了传热效率，提高了热电......
4. 《双通道MEMS微波功率传感器的匹配特性》PDF+DOC 为了降低双通道MEMS微波功率传感器的回波损耗，提高传感器的测量精度，对MEMS悬臂梁的匹配特性进行了研究。首先，通过双通道MEMS微波功率传感器结构构建S参数的理论解析模型，分析了双通道MEMS微波功率传感器的匹配特性，得到了MEMS悬臂梁的间距和回波损耗系数S11的关系；接着利用有限元软件HFS......
5. 《一种开路短截线结构的耦合式微波功率传感器》PDF+DOC 提出了一种基于MEMS技术的在线式微波功率传感器结构，并对该结构进行了理论分析、设计、制作和测量。该微波功率传感器通过加入阻抗匹配和开路短截线结构实现低损耗和宽频带的在线测量。该结构制作工艺与GaAs MMIC工艺完全兼容。测量结果显示，在8GHz～12GHz频率范围内，微波功率传感器的反射系数小于......
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7. 《一种新型的在线式微波功率传感器》PDF+DOC 提出了一种基于MEMS技术的在线式微波功率传感器结构，并对该结构进行了理论分析、设计、制作和测量.该结构通过测量由MEMS膜耦合出的一小部分微波功率实现功率的测量.该结构制作工艺与GaAs MMIC工艺完全兼容.测量结果显示，在12GHz频率以内，微波功率传感器的反射系数小于-15dB，插入损耗小于......
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10. 《GaAs MEMS微波功率传感器的设计与模拟》PDF+DOC 已有的微机械直接加热终端式微波功率传感器是基于CMOS工艺的，该结构基于GaAsMMIC工艺，它可以与GaAs微波电路实现单片集成。它的基本工作原理是热电效应，制备中使用了GaAs体加工技术来减少热量损失。并用软件对其温度场和反射系数进行了模拟。该传感器用于X波段，它的输入功率是0到50mW，灵敏度......