作者：单建华,孔德义,林丙涛,汪小华,梅涛,褚家如 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》2007年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS2007030150 DOC编号：DOCWXJS2007030159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种结构简单，制造工艺容易实现的硅微机械二维倾角传感器结构设计，它由蝶形质量块和连接它们的四个成十字形的硅应变梁以及具有过载限位保护功能的硼硅玻璃衬底构成。传感器能同时检测出绕两轴的倾角变化。分析了硅应变梁的受力情况，得到了与倾角的解析关系，并用有限元方法验证了结果，理论灵敏度为0.75 mV/&#176；。

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