《基于标准CMOS工艺的pH值传感器》PDF+DOC
作者:施朝霞,朱大中
单位:中国科学院半导体研究所;中国电子学会
出版:《Journal of Semiconductors》2007年第08期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTX2007080240
DOC编号:DOCBDTX2007080249
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基于传统离子敏感器件的敏感模型,建立了与CMOS工艺兼容的以钝化层氮化硅作为敏感膜的MFGFET(multi-floating gate FET)多层浮栅晶体管结构阈值电压模型.采用上华0.6μm CMOS标准工艺,设计了一种与CMOS工艺兼容的pH值传感器.片上控制电路使MFGFET器件源漏电压和源漏电流恒定,器件工作在一个稳定的状态.采用离子敏MFGFET和参考MFGFET差分拓扑结构,减少了测量电路的固定模式噪声.器件溶液实测pH值在1~13范围内,器件的平均灵敏度为35.8mV/pH。
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