作者:施朝霞,朱大中 单位:中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版:《Journal of Semiconductors》2007年第08期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTX2007080240 DOC编号:DOCBDTX2007080249 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 基于传统离子敏感器件的敏感模型,建立了与CMOS工艺兼容的以钝化层氮化硅作为敏感膜的MFGFET(multi-floating gate FET)多层浮栅晶体管结构阈值电压模型.采用上华0.6μm CMOS标准工艺,设计了一种与CMOS工艺兼容的pH值传感器.片上控制电路使MFGFET器件源漏电压和源漏电流恒定,器件工作在一个稳定的状态.采用离子敏MFGFET和参考MFGFET差分拓扑结构,减少了测量电路的固定模式噪声.器件溶液实测pH值在1~13范围内,器件的平均灵敏度为35.8mV/pH。

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