《表面等离子共振Ag-SnO_2薄膜光化学气体传感器》PDF+DOC
作者:符运良,袁一方,傅军,李天略
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2007年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2007010170
DOC编号:DOCCGQJ2007010179
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提出一种新型的Ag-SnO2复合膜H2S光化学表面等离子共振(SPR)气体传感器结构。结构中使用一只金红石材料作成的棱镜作为耦合棱镜,在棱镜的底边采用射频溅射技术制作Ag-SnO2复合膜(CuO为掺杂质),Ag膜和SnO2膜的厚度分别为50 nm和100 nm,在复合膜上设置待测气体的样品池。在白光入射激励下,复合膜的分界面发生SPR现象。实验结果表明:SPR的波长与H2S气体的体积分数基本呈线性关系。
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