作者：李恒,段发阶,胡斌 单位：中国计量科学研究院 出版：《计量科学与技术》2007年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLJS2007040020 DOC编号：DOCJLJS2007040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 电容传感器常用来测量微小间距和薄片绝缘介质的厚度。由于电容测量的非接触特性，基于电容原理的塑料薄膜厚度测量可实现在线不间断测量。但是对于扫描测量，各种因素造成的极板间距变化直接影响厚度测量的精度。本文提出了双涡流传感器振动补偿方案，实时同步测量极板间距变化，对厚度计算进行补偿，提高了系统的测量精度。实际的测量数据验证了振动补偿方案对提高测量精度的有效性。

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