作者：张小娟,吴一辉,贾宏光,张平,王淑荣,宣明 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》2007年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS2007010090 DOC编号：DOCWXJS2007010099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于电解质溶液导电的特性，研制了可测量微升级流量的高灵敏度微电解池式微流量传感器。由电解反应产生的电流大小确定流体流过的时间t，再根据流体流量Q、管道截面积S及液体通过的时间t，即可以得出流过管道的液体量。用流体仿真软件CFX对所设计的器件进行仿真，用微机械加工工艺制作出微管道，并用蒸镀及金属腐蚀的方法制作出微电极。实验表明，所制作的微电解池式微流量传感器符合仿真结果，管道中有无流体时电流变化明显。传感器的灵敏度为蠕动泵的泵速，即1.71μA.s/μL，当蠕动泵的泵速为0.5 r/min时，测得的电流值为10μА。

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