作者:徐军民,王瑞金,杨娅君 单位:浙江省机电集团有限公司;浙江大学 出版:《机电工程》2007年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJDGC2007040260 DOC编号:DOCJDGC2007040269 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机电系统科学与技术发展趋势》PDF+DOC2000年第05期 王立鼎,刘冲 《微传感器步入生物医学领域》PDF+DOC1996年第06期 《美国生物医学界的MEMS器件的应用和研究动向》PDF+DOC1996年第06期 黄智伟 ,李富英 《微机电系统的研究与展望》PDF+DOC2005年第01期 林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰 《微机械传感器的现状与发展》PDF+DOC2003年第04期 朱长纯,韩建强,刘君华 《微机电系统技术进展》PDF+DOC2003年第05期 张西慧,梁春广 《MEMS技术的现状和发展趋势》PDF+DOC2001年第01期 刘光辉,亢春梅 《中国微纳制造研究进展》PDF+DOC2008年第11期 王立鼎,褚金奎,刘冲,罗怡 《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC2008年第07期 丁群燕,曾鑫 《硅微压阻式压力传感器的测试与研究》PDF+DOC2013年第02期 余剑锋,谭晓兰
  • 由于磁流体具有磁性,如果在磁场作用下力的平衡发生变化,会因磁流体的流动而产生压力。将这种现象用到微系统中,可以获得1~1 000 mbar数量级的压力值。在试验装置中,用压阻式压力传感器得到了40 mbar的压力。试验结果表明,磁流体和微系统的结合具有很大的潜能,为其应用于新的场合提供了研究基础。

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