作者:张乐欣,张冉,李志全 单位:中国科学院光电技术研究所;中国光学学会 出版:《光电工程》2007年第10期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGDGC2007100280 DOC编号:DOCGDGC2007100289 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 当多孔硅处于有机物蒸汽环境时,由于自身的多孔结构和巨大的比表面积,有机物蒸汽分子将迅速地吸附到多孔硅的表面,并在多孔硅的孔内发生毛细冷凝作用,这将引起多孔硅层有效折射率的变化,从而导致多孔硅微腔反射谱透射峰峰位的变化。本文主要利用Bruggeman介电常数近似理论与光子晶体传输矩阵的方法,建立了多孔硅微腔的理论传感模型。使用光学实验装置对多孔硅微腔进行了传感实验,证明多孔硅微腔可以实现对有机物蒸汽分子种类的检测,且分辨率较高,响应时间和恢复时间短,可重复性好。

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