《基于激光激发声表面波新型气体传感器的研究》PDF+DOC
作者:姜超,刘光达
单位:中国科学院光电技术研究所;中国光学学会
出版:《光电工程》2007年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGDGC2007040290
DOC编号:DOCGDGC2007040299
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提出了一种利用激光激发声表面波,通过气体吸附性薄膜对被测气体进行检测的传感原理。激光在覆有选择性气体吸附膜的铝块表面激发出声表面波,后者沿铝块表面传播。在吸附性薄膜与被测气体发生反应后,声表面波的强度被改变;然后利用PMT(光电倍增管),通过单芯光纤耦合的反射式光束偏转法探测由半导体激光器发出的探测光束,所检测的光强的变化反映了被检测气体的浓度,从而实现被测气体的浓度测量。
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