《改进型二维位置敏感探测器示值误差的标定》PDF+DOC
作者:袁江,邱自学
单位:成都工具研究所
出版:《工具技术》2007年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGJJS2007010360
DOC编号:DOCGJJS2007010369
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分析了改进表面分流型二维PSD传感器的工作原理及信号调理电路,针对PSD传感器示值误差较大的缺点,设计了利用万能工具显微镜的实验标定系统,运用误差理论对传感器位置测试数据进行了标定修正。试验结果表明,PSD传感器A区的示值误差可减小到±;0·;02mm内。
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