作者：荣伟彬,谢晖,王家畴,孙立宁,陈伟 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2007年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2007020160 DOC编号：DOCYDSG2007020169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微操作中力的检测与控制是实现无损伤操作的关键。因此，该文提出了一种以压阻检测技术为基础，集成三维微力传感器的微夹持器。传感器标定实验结果表明，该传感器具有耦合小，测量分辨率高，线性度好的优点。传感器量程为-10~+10 mN，在x、y向的分辨率均为2.4μN，z向的分辨率为4.2μN。微夹持器采用压电陶瓷驱动两级柔性放大机构，实现张合量300μm，完成了微夹持实验。

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