作者：崔岩,孟汉柏,王兢,石二磊,王立鼎 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2007年第09期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2007090190 DOC编号：DOCGXJM2007090199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种基于PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PT和PZT薄膜，采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征，用阻抗分析仪测试了PZT和PT/PZT/PT薄膜的介电常数。结果表明，在PZT薄膜退火温度同为600℃时，PZT和PT/PZT/PT薄膜均为完整的钙钛矿结构，而且PT/PZT/PT薄膜沿(100)晶向强烈取向；在测试频率为1 kHz时，经600℃热处理条件下制备的PZT和PT/PZT/PT薄膜的相对介电常数分别为525和981。最后应用MEMS工艺制作了基于PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器。在静态和准静态下对微力传感器的传感特性进行了测试。测试结果表明，力与位移或电荷具有良好的线性关系。两种尺寸微力传感器的灵敏度分别为0.045 mV/μN和0.007 mV/μN，力分辨率分别为3.7μN和16.9μN，满足了微牛顿量级微小力的测量。

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