《新型场效应管型湿度传感器阵列的研制》PDF+DOC
作者:太惠玲,谢光忠,蒋亚东
单位:中国电子学会
出版:《电子测量与仪器学报》2007年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZIY2007030140
DOC编号:DOCDZIY2007030149
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以BaytronP为敏感材料,利用自组装技术在具有4个单元的无金属栅场效应管阵列上制备了BaytronP/PDDA多层自组装超薄膜,形成了一种以自组装膜取代MOSFET栅金属的化学场效应管型湿度传感器阵列,并对该阵列的湿敏特性进行了测试研究,同时设计了广义回归神经网络以进行湿度的预测分析。结果表明,采用1V漏电压下的漏电流值作为网络的输入,并取扩展常数为0.14时,网络的预测结果最好(最小相对误差为1.77%)。
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