作者：冯庆,王新强,刘高斌,王万录 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》2007年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX2007040030 DOC编号：DOCZKKX2007040039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 二氧化钛和三氧化钨是具有重要功能的无机n型半导体材料，常用来制备气敏传感器。本文利用电子束蒸发制备了TiO2-WO3复合氧化物薄膜，在500℃下退火2 h。通过SEM和XRD观察了该薄膜的形貌特性并进行了气敏测试。实验表明，该薄膜对酒精、丙酮和二氧化硫气体具有较强的敏感性。本文还研究了温度、复合浓度和气体浓度对薄膜气体传感能力的影响。

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