作者：陈烨,李红浪,何世堂 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2007年第Z1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2007Z11210 DOC编号：DOCBDTQ2007Z11219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 分析了延迟线型表面横波(STW)生物传感器的灵敏度与栅阵材料、厚度的关系。给出了计算栅阵对表面横波束缚能力的方法，由STW的束缚能力可以直接得到传感器的灵敏度。从Auld微扰理论出发推导出表面横波传感器灵敏度的表达式。根据上述理论分析，以AT切割压电石英基片为例，分别计算金、银、铝三种栅阵材料在不同厚度时的传感器灵敏度，并给出对比分析结果。结果表明，在相同栅阵厚度时，采用金栅阵的传感器灵敏度最高，银次之，铝最小；传感器的灵敏度随着栅阵厚度的增加而增加。

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