作者：杨旭东,陈育荣,谢铁邦 单位：成都工具研究所 出版：《工具技术》2007年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJJS2007060290 DOC编号：DOCGJJS2007060299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种新型的基于迈克尔逊干涉原理的高精度位移传感器，分析了其光学原理、测量电路和信号细分方法。该位移传感器还采用了一种新的光电管排列方法，使得信噪比较传统的光电管排列方法有极大的提高并且更便于光学调整。该传感器的测量分辨率高达5nm，可应用于表面形貌的高精度测量。

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