作者：孔维军,贾书海,杨佳,王军 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2007年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2007090300 DOC编号：DOCCGQJ2007090309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对一种新型光学加速度传感器设计了一种简单实用的微弹性机械结构，它是通过MEMS工艺在硅片上加工出来。通过能量法和有限元模拟法(ANSYS 8.0)对弹性臂的弹性系数和动力学振动系统的一阶固有频率进行了分析与模拟，根据传感器的性能要求选取了微弹性机械结构的参数，并对传感器的性能进行了分析模拟。结果表明：设计是合理可行的，根据参数确定传感器的量程约为&#177；395 m/s2，测量频率约为1~4.5 kHz。

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