作者：王莹莹,樊尚春,邢维巍,蔡晨光 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2007年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2007020100 DOC编号：DOCCGJS2007020109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC2000年第05期 樊尚春,刘广玉 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC2004年第05期 樊尚春 《热激励硅谐振式压力传感器温度场的有限元计算》PDF+DOC2002年第S2期 樊尚春,邢维巍,贾振宏 《一种新型的硅谐振式微传感器频率特性测试系统》PDF+DOC2009年第S1期 汤章阳,樊尚春,蔡晨光 《谐振式硅微结构压力传感器非线性振动特性研究》PDF+DOC2006年第12期 樊尚春,乔少杰,张轩 《一种MEMS电容式压力传感器的模糊稳健设计》PDF+DOC2017年第03期 康杰,谭晓兰,张久超 《日本基于MEMS传感器的研究进展》PDF+DOC2004年第01期 焦正,吴明红 《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC1999年第01期 徐毓龙,徐玉成 《单片集成MEMS技术》PDF+DOC2005年第03期 江建明,娄利飞,汪家友,杨银堂 《一种新型微机械谐振式压力传感器研究》PDF+DOC2009年第06期 史晓晶,陈德勇,王军波,毋正伟,刘磊

    • 基于谐振式硅微结构压力传感器幅、相频率特性的分析，利用北京航空航天大学微传感器实验室研制的谐振式硅微结构传感器开环测试系统的测试实验结果和Matlab实验数据处理与拟和分析计算，建立了微传感器的二阶模型.该模型排除了未知相位延迟的影响，从幅值和相位混合的测试数据中精确计算出谐振频率、品质因数以及相位特性，为闭环测试系统的研制提供了依据。

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