《电阻式湿度传感器制作工艺的革新》PDF+DOC
作者:王亚峰,杨清风
单位:中国计量科学研究院
出版:《计量科学与技术》2007年第07期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJLJS2007070260
DOC编号:DOCJLJS2007070269
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介绍一种制作电阻式湿度传感器的革新工艺,使电阻值减小,电极间隙仅10μm,能检测狭小空间的湿度,具有长期稳定性,易于实现小型化。
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