作者：徐玮鹤,车录锋,李玉芳,熊斌,王跃林 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》2007年第10期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX2007100260 DOC编号：DOCBDTX2007100269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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