作者：师树恒,王斌,王勇,朱健强 单位：中国工程物理研究院;中国核学会;四川省核学会 出版：《强激光与粒子束》2007年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQJGY2007050160 DOC编号：DOCQJGY2007050169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在神光Ⅱ第9路ICF高功率激光装置中，采用可调法布里-珀罗(F-P)滤波器对幅度调制效应进行补偿，根据补偿装置的技术要求，提出一种应用nm量级精度的电容式位移传感器对可调F-P滤波器间距稳定度进行监控的系统，详细论述了监控系统的结构与工作原理。给出了电容式位移传感器的驱动电路及数据处理与控制软件的设计方案，并对电容式位移传感器的精度进行了标定。实验结果表明，该位移监控系统能够使可调F-P滤波器的间距稳定度保持在15 nm/h以内，使幅度调制效应的调制深度优于4%。

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