作者：王存超,苏岩,王寿荣 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2007年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2007010000 DOC编号：DOCYBJS2007010009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用厚膜混合集成技术实现了硅微机械加速度传感器工程样机。介绍了厚膜混合集成电路工艺的原理和特点、传感器的结构和工作原理，研究了信号提取和处理方法，优化了反馈控制校正电路网络，利用电容转换专用集成电路，通过厚膜技术组装了工程样机。实验结果表明：该单片加速度传感器具有较高的精度和零偏稳定性。

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