作者：曾雄,杜晓松,谢光忠,蒋亚东,李重阳 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2007年第08期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2007080060 DOC编号：DOCCGQJ2007080069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 阐述了ZnO压电薄膜声传感器的结构和工作原理，并用ANSYS 9.0对压电薄膜声传感器进行了静态分析、模态分析和谐响应分析。通过静态分析，得到压电薄膜声传感器的灵敏度为16.4 mV/Pa；模态分析得出了传感器的第一阶固有频率为12.379 kHz；谐响应分析则获得感应电压与动态外力频率之间的关系。这些分析为此类声传感器的设计提供了理论依据。

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