《压力传感器封装中波纹膜片的结构优化》PDF+DOC
作者:付兴铭,谭六喜,姚媛,刘胜
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2007年第07期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2007070260
DOC编号:DOCCGQJ2007070269
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对压力传感器隔离封装中的关键部件——波纹膜片,采用有限元分析的方法,分别得到了2,4,6个波纹的膜片的弹性特性,并根据封装要求选择了6波纹的膜片。通过比较不同波数的膜片对压力传感器输出信号的影响,验证了膜片结构优化的正确性。最后,使用6波纹的膜片进行封装,得到了性能稳定的压力传感器,并测试得到了其主要的静态参数。
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