作者:付兴铭,谭六喜,姚媛,刘胜 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2007年第07期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2007070260 DOC编号:DOCCGQJ2007070269 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《压力传感器封装中的波纹膜片结构研究》PDF+DOC2015年第05期 王俊杰,秦会斌 《基于压力传感器封装的波纹膜片的结构研究》PDF+DOC2008年第12期 刘元浩,赵立波,赵玉龙,蒋庄德,田边,孟超 《型砂压力传感器的研制》PDF+DOC1995年第02期 谢滨,吴浚郊 《国外压力传感器市场及新产品动向(二)》PDF+DOC1992年第05期 孟涛,陆广振 《精度为1×10~(-3)的陶瓷膜片压力传感器》PDF+DOC1991年第04期 H.Varcca,N.Derkenne,孙敏 《水晶广义表面波压力传感器初探》PDF+DOC1993年第02期 林江,潘洪泉,范加玲 《压电式传感器频率响应特性的展宽》PDF+DOC 王义 《MEMS耐高温压力传感器封装工艺》PDF+DOC2009年第09期 孟超,赵玉龙,赵立波,王新波,刘元浩 《深度传感器中波纹膜片的设计》PDF+DOC2013年第29期 刘春香,王东胜,段成燕,王金玲,郭丽娟 《测量高频压力的水冷式电阻传感器》PDF+DOC1966年第02期 沈稚厥
  • 对压力传感器隔离封装中的关键部件——波纹膜片,采用有限元分析的方法,分别得到了2,4,6个波纹的膜片的弹性特性,并根据封装要求选择了6波纹的膜片。通过比较不同波数的膜片对压力传感器输出信号的影响,验证了膜片结构优化的正确性。最后,使用6波纹的膜片进行封装,得到了性能稳定的压力传感器,并测试得到了其主要的静态参数。

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