《单片集成MEMS电容式压力传感器接口电路设计》PDF+DOC
作者:黄晓东,张筱朵,王斌,秦明,黄庆安
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《微纳电子技术》2007年第Z1期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTQ2007Z11520
DOC编号:DOCBDTQ2007Z11529
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介绍了一种单片集成电容式压力传感器接口电路,该电路基于电容-频率转化原理,并通过差频消除了温度变化和工艺波动对电路性能的影响。使用Pspice对接口电路的误差特性进行了分析,并依据仿真结果确定了电路的相关参数。最后给出电路的测试结果,测试结果与仿真结果一致,在80~110kPa量程内,接口电路的分辨率为3.77Hz/hPa。
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