《激光量块干涉测量中传感器的应用和校准》PDF+DOC
作者:蒋秀兰,葛爱明
单位:上海市计量测试技术研究所;上海市计量测试学会;上海市计量协会
出版:《上海计量测试》2007年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFSJLC2007030070
DOC编号:DOCSJLC2007030079
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本文介绍了双波长激光量块干涉仪中使用的温度、湿度和气压传感器,描述了其工作原理、设计方案、测量不确定度以及校准方法。这些传感器同样可用于其他高准确度长度测量的激光干涉系统中。
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