作者：陈绪兴,王鸣,戎华,倪小琦 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2007年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2007040240 DOC编号：DOCCGJS2007040249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种新的光纤压力传感器的设计，该传感器敏感膜采用了台面结构而非传统的平面结构.用法布里-珀罗(Fabry-Perot)干涉理论阐述了传感器的工作原理，提出了敏感膜的力学模型.基于Fabry-Perot干涉理论推导出光纤MEMS压力传感器中台面敏感膜受到的压力与干涉光强的关系表达式，通过ANSYS有限元软件分析了台面膜型的力学性能，结果表明台面敏感膜在平行度上优于平面膜.通过数值模拟分析了传感器的关键参数对其性能的影响，为光纤MEMS压力传感器的加工和制作提供了理论依据。

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