作者：闻化,张爱平,张枫,高成臣,姚东嫒 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2007年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2007120330 DOC编号：DOCCGQJ2007120339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种硅—蓝宝石高温大量程压力传感器的设计，提出了采用小直径C型膜片的一体化结构，通过合理排布力敏电阻条位置，能够制作出高精度大量程压力传感器。采用该设计研制出了量程分别为60MPa和100MPa压力传感器，其工作温度范围为-50~350℃；满量程输出≥100 mV；精度优于0.1%；迟滞与重复性均优于0.05%FS。

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