作者：秦磊,李满天,孙立宁 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2007年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2007060000 DOC编号：DOCYBJS2007060009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《三维微力探针传感器技术研究》PDF+DOC2009年第02期 王鑫垚,吴伟,林启敬,赵玉龙 《用于微摩擦测试的微力传感器及其制作》PDF+DOC2004年第03期 黎海文,吴一辉,李也凡,张平,王淑荣,贾宏光 《MEMS三维微力探针传感器设计及性能测试》PDF+DOC2011年第03期 王伟忠,赵玉龙,林启敬 《用于微装配的三维微力传感器的研究》PDF+DOC2007年第03期 陈海初,张蕊华 《基于MEMS技术的微操作三维力传感器研究》PDF+DOC2007年第04期 荣伟彬,王家畴,赵玉龙,陈立国,孙立宁 《集成铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器的制作》PDF+DOC2011年第12期 褚金奎,陈兆鹏,张然 《MEMS应变式结冰传感器设计与制作》PDF+DOC2011年第08期 李宗兴,陈德勇,王军波 《基于惠斯通电桥传感器的温度补偿方法》PDF+DOC2010年第04期 程军 《基于探针形式的三维硅微力传感器》PDF+DOC2009年第04期 林启敬,赵玉龙,蒋庄德,王鑫垚,王伟忠 《新型集成三维微力检测微夹持器》PDF+DOC2007年第04期 王家畴,荣伟彬,孙立宁,谢晖,陈伟

    • 开发了一种基于MEMS技术制作的三维微力传感器，传感器为完全对称结构，由4根垂直放置和1根悬臂放置的硅梁连接而成。每根硅梁上设计了一个利用MEMS工艺制作的惠斯通电桥，该种电桥应变系数大，在很大程度上简化了电桥处理电路的设计。在弹性力学和材料力学基础上，利用SOLIDWORK软件对传感器进行了应变分析，得出了力和输出电压之间的关系。设计了传感器信号检测电路，确定了减小温度对检测精度影响的方法。测试表明：该传感器检测量程为&#177；0.5 N，重复定位精度优于9.1 mN，分辨力优于0.95 mN。

    📙 相关资料

    1. 《三维微力探针传感器技术研究》PDF+DOC 结合光纤探针与四悬臂梁支撑结构的特点，研制了一种基于微探针形式，具有μN级三维微力测量和传感能力的压阻式三维微力探针传感器。通过ANSYS数值仿真的方法研究了传感器结构之间的应力特点。并且通过实验验证了所研制的传感器的综合精度可达到0.2%FS，干扰误差≤0.3%FS。...
    2. 《用于微摩擦测试的微力传感器及其制作》PDF+DOC 微构件表面的摩擦状况和磨损机理与宏观构件有较大的区别，需一种能够测量微米尺度样品摩擦特性的专用仪器。给出了一种新型硅微力传感器的设计原理、结构、制作工艺及其弱信号采集方法。静态性能测试结果表明，传感器最大输出电压2000μV，重复性约为1 3%，灵敏度约为65V/N，分辨率为46μN，总精度为2 3......
    3. 《MEMS三维微力探针传感器设计及性能测试》PDF+DOC 设计了一种基于压阻效应的微机电系统(MEMS)三维微力探针传感器并对其进行了性能测试.传感器传感单元采用四梁支撑结构，接触探针采用台阶式石英光纤，使传感器的抗干扰能力和灵敏度得到了显著的提高.设计了传感器的过载保护单元，传感器整体尺寸为4 mm&#215；4 mm&#215；16 m......
    4. 《用于微装配的三维微力传感器的研究》PDF+DOC 采用硅基应变片设计了一种可用于精密微装配作业过程，检测x、y、z方向微接触力的三维微力传感器；经微小改动后，该传感器可成为五维微力传感器。分析了力传感器测量原理，建立其测量模型，并设计了传感器信号放大电路。测试了微力传感器的性能指标，在x、y、z3个方向的微力测量分辨率为0.001 N，测量精度可达......
    5. 《基于MEMS技术的微操作三维力传感器研究》PDF+DOC 针对微操作过程中对微力觉信号的需求，以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺，设计了一种用于微操作的三维力传感器，建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹性元件进行分析。利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术，实现对传感器的标定，并给出了传感器的信号处理方法。实验证明，该传感器具有耦合小......
    6. 《集成铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器的制作》PDF+DOC 由于SU-8胶的弹性模量比硅的低，在SU-8胶悬臂梁上集成金属压阻可获得很高的力灵敏度系数，因此本文基于SU-8胶设计并制作了一种集成蛇形结构铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器。介绍了制作微力传感器的新型工艺，并进行了传感器性能测试。实验结果表明：设计的SU-8胶微力传感器在0～350μN具有......
    7. 《MEMS应变式结冰传感器设计与制作》PDF+DOC 提出了一种MEMS应变式结冰传感器。传感器基于结冰造成薄膜刚度改变的原理，采用惠斯通电桥结构检测结冰薄膜上应变电阻的变化，感知结冰信号。传感器利用惠斯通电桥自身结构及外加温度补偿电路，可有效地抑制输出信号的温漂。通过理论分析和有限元仿真，分析了器件的敏感机理，并对结构参数进行计算。采用与IC工艺兼容......
    8. 《基于惠斯通电桥传感器的温度补偿方法》PDF+DOC 微电子技术的发展使硅传感器能做得更复杂，获得更高的性能价格比，而影响高性能应用的主要因素是温度稳定性。分析了温度对传感器零位输出电压，输出幅度，灵敏度和桥臂电阻阻值性能的影响，同时从这几个层面给出实际的温度补偿方法。...
    9. 《基于探针形式的三维硅微力传感器》PDF+DOC 为满足三维微力测量的需求，以MEMS体硅压阻工艺技术为基础，研制了一种基于微探针形式，具有μN级三维微力测量和传感能力的半导体压阻式三维微力硅微集成传感器。传感器采用相互迟滞的4个单端固支硅悬臂梁，支撑中间的与微力学探针结合在一起的质量悬块的结构形式，在4mm&#215；4mm的硅基半导体芯......
    10. 《新型集成三维微力检测微夹持器》PDF+DOC 提出了一种以压阻检测技术为基础，压电陶瓷为微驱动元件，具有两级位移放大且集成三维微力传感器的微夹持器。采用有限元软件对微操持器放大机构和传感器弹性体进行分析，并给出了传感器的标定方法。实验证明，该传感器具有无耦合、测量分辨率高、线性度好、标定简单的优点，满足了预计的设计要求，传感器最大量程为10 m......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。