作者：马绍宇,韩雁,董树荣,李侃,周海峰 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》2007年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS2007060120 DOC编号：DOCWXJS2007060129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种针对于生物传感应用的薄膜体声波谐振(thin film bulk acoustic resonator，FBAR)质量传感器。薄膜体声波谐振器谐振频率非常高(能够达到几兆赫兹)，同时具有较大的品质因数，基于这种器件的质量传感器具有非常高的质量灵敏度。首次提出了三对全金属的Al-W层作为布拉格声学反射层的FBAR，制备出了固态装配型的FBAR传感器。通过淀积不同厚度Al层顶电极分析了器件的质量灵敏度，仿真得到的质量传感器串联谐振频率在2.8 GHz附近，质量响应度达到5&#215；10-4ng/Hz/cm2，可以实现分子量级的质量传感。

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