作者:沈广平,吴剑,张骅,秦明,黄庆安 单位:中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版:《Journal of Semiconductors》2007年第11期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTX2007110320 DOC编号:DOCBDTX2007110329 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《二维MEMS风速风向传感器的设计与测试》PDF+DOC2007年第Z1期 沈广平,吴剑,张骅,秦明,黄庆安 《低热导率衬底的热风速风向传感器研究》PDF+DOC2009年第05期 沈广平,秦明,黄庆安,张骅,吴剑 《高稳定矿用风速风向传感器的研究》PDF+DOC2020年第03期 张东,陈斌 《CMOS风速风向传感器的设计》PDF+DOC2005年第05期 程海洋,秦明,高冬晖 《MEMS固态风速风向传感器的设计与制作》PDF+DOC2007年第Z1期 杜利东,赵湛,庞程 《基于MEMS的固态风速风向传感器及其最优结构参数》PDF+DOC2011年第03期 杨帆,赵湛,杜利东 《基于MEMS的悬板式风速传感器的研制》PDF+DOC2009年第05期 韩有君,赵湛,王晓蕾,杜利东,方震 《一种小量程风速风向传感器的设计》PDF+DOC2009年第01期 韩有君,王晓蕾,施健康,慕新仓 《MEMS磁场传感器的研究进展》PDF+DOC2006年第04期 陈洁,黄庆安,秦明 《基于MEMS的力传感器薄膜应变计加工工艺》PDF+DOC2006年第01期 王嘉力,高晓辉,姜力,刘宏
  • 给出了一种基于MEMS工艺的二维热风速传感器的设计、制造以及测试结果.该传感器采用恒功率工作方式,利用热温差的方法测量风速和风向.本传感器采用MEMS剥离工艺在玻璃衬底上同时加工出加热电阻和测温电阻,利用简单可靠的加工工艺实现了热隔离和高灵敏度.经过风洞风速风向测试,得知传感器的风速量程超过10m/s,360°范围内风向测量误差不超过8°.传感器的响应时间不超过1s,功耗为10mW。

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