作者：王香文,陈玲 单位：成都市计量监督检定测试院 出版：《计量与测试技术》2007年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLYS2007010020 DOC编号：DOCJLYS2007010029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 利用单晶硅的压阻效应原理，采用先进的半导体平面工艺、微机械加工工艺、温度补偿及固态集成工艺研制了一种超小型压力传感器。该传感器采用敏感元件与信号处理电路一体化结构，产品在制作过程中经过严格的工艺检验和环境性能试验。证明具有体积小、精度高、稳定性好、测量范围宽等特点，可以广泛用于石油、冶金、化工、航空、航天、武器装备等领域压力的测量和控制。

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