作者：徐庆达,张国军,沈倪鑫,张兰胜,张文栋 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2018年第12期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2018120040 DOC编号：DOCBDTQ2018120049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • MEMS仿生矢量水听器具有体积小、刚性安装和单支定位等优点，但是在单支水听器定位时，常存在双边指向性造成左右舷模糊的问题。为了解决单支矢量水听器定位的问题，设计了一种通过集成一个标量通道实现单边指向性的标矢量一体化水听器。首先，详细介绍了标矢量一体化水听器的制备过程。然后，通过ANSYS 17.0软件对标矢量敏感结构的模态进行了仿真分析，确定了标矢量敏感单元共同的可测带宽为20～1 000 Hz。经过耐压实验，该标矢量一体化水听器可经受5 MPa的静水压力。从指向性测试可以看出标量端具有较为完整的全向指向性，矢量端具有良好的8字形双边指向性，验证了本设计的可行性。通过外场实验得出，标量信息采集端与标准水听器信噪比皆在40 dB左右，证明标量信息采集端具有良好的声音接收能力。

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