作者：李鹏,李昕欣,王跃林 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2007年第10期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2007100080 DOC编号：DOCCGJS2007100089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 文中演示了一种高分辨率的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器及其制作方法，并利用该传感器实现了对化学气体的检测.通过传感器在线检测以及其它表征手段，验证了该传感器通过单分子自组装方法获得敏感层的可行性.经过Cu2+/巯基十一酸单分子自组装层修饰的微悬臂梁传感器可以对甲基膦酸二甲酯(DMMP)气体进行快速响应，最小检测浓度可达数ppb(&#215；10-9)。

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