《一种新型数字式加速度传感器原理与设计》PDF+DOC
作者:庞洁,Lukasz Pakula,Paddy French,杨恒,王跃林
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2007年第09期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2007090150
DOC编号:DOCCGJS2007090159
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高过载加速度敏感芯片的结构与特性》PDF+DOC2019年第11期 杨宇新,揣荣岩,李新,张冰,张贺
《电容式硅微加速度传感器的研究》PDF+DOC1997年第04期 洪连进
《新型后坐加速度开关阵列传感器》PDF+DOC1994年第04期 李科杰,石庚辰
《压阻式硅微型加速度传感器的研制》PDF+DOC2003年第11期 席占稳
《微硅高g加速度传感器工艺研究》PDF+DOC2002年第04期 张中平
《一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究》PDF+DOC2001年第01期 朱目成
《基于空芯光子晶体光纤的全光纤法布里-珀罗干涉式加速度传感器》PDF+DOC2010年第01期 柯涛,朱涛,饶云江,徐敏,史翠华
《低频光纤光栅加速度传感器》PDF+DOC2006年第01期 巩宪锋,衣红钢,周晓敏,王长松,岳士丰
《微机械电容式加速度传感器测试电路研究》PDF+DOC2006年第06期 杨苗苗,陈德勇,王军波,陈健,毋正伟,陈李
《低频光纤布拉格光栅振动加速度传感器研究》PDF+DOC2013年第12期 罗小东,乔学光,贾振安,高宏,邵敏,陈国祥
建立了一种新型纯数字式加速度传感器的理论模型,通过检测吸合时间差检测加速度.该传感器不存在吸合电压的限制,避免了寄生电容的影响,其芯片面积远小于传统电容式加速度传感器;由于输出时间信号,可采用简单的纯数字接口电路检测.理论分析表明,质量块在两个检测电极之间的吸合时间差ΔT与加速度成正比关系,通过检测ΔT的变化即可检测加速度,其灵敏度、非线性与传统电容式加速度传感器相当.设计了一个悬臂梁-质量块结构的加速度传感器,芯片有效面积仅为0.03mm2,模拟结果显示,工作电压为8V,加速度为1gn时,吸合时间的变化ΔT为1.0554μs.采用TTL电路进行检测,其分辨率可以达到0.01gn,满量程±;10gn工作时,非线性度为1.23%。
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。