作者：吴浩,车录锋,王俊杰,王跃林 单位：中国机械工程学会;郑州机械研究所 出版：《机械强度》2007年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXQD2007050100 DOC编号：DOCJXQD2007050109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 根据梳齿式电容加速度传感器极板不平行对传感器静电力和阻尼力的影响，建立有阻尼力反馈微加速度传感器的等效电学模型。通过电学模拟，分析不同阻尼情况下由工艺原因引起的电容极板不平行对传感器可靠工作范围的影响。结果表明，当传感器受阶跃信号的冲击时，可靠工作范围随极板倾斜程度的增大而减小，并且模拟结果还表明，在欠阻尼情况下传感器的可靠工作范围比临界阻尼或过阻尼情况下要小。

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