作者：刘妤,温志渝,杨红韵 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2007年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2007040030 DOC编号：DOCCGQJ2007040039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微加速度传感器是微型惯性组合测量系统的核心器件。随着MEMS技术的不断发展，单轴微加速度传感器的技术已日趋成熟，多轴微加速度传感器的研究正成为MEMS领域的热点。基于多轴微加速度传感器典型实例的介绍，评述了近年来该领域的进展，并就其未来的发展作了展望。

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