作者：张树生,韩克江,成健 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2007年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2007030010 DOC编号：DOCYBJS2007030019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 传统的流体传感器由于存在着灵敏度低、体积大、成本高等缺点，而且微流体与宏观流体流动特性不同，所以其在微流体的流体特性测量中存在很大的局限性。随着MEMS技术的发展，硅微机械流体传感器的出现克服了传统流体传感器的缺点。硅微机械流体传感器已成为MEMS的研究热点之一。按其用途进行了分类，着重介绍了流体压力传感器、流量传感器和表层摩擦力传感器。分别从各种传感器的基本原理、性能、应用范围、优缺点及其所能达到的技术指标方面进行了描述。基于MEMS的硅微机械流体传感器具有广阔的前景。

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