作者：宋晓辉,任道远 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2007年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2007070030 DOC编号：DOCCGSJ2007070039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 随着IC制造技术的迅速发展，硅膜片式压力传感器及其集成化压力传感器受到青睐，对其开发研制相当盛行。本文以应用压阻效应原理的硅膜片式压力传感器为中心阐述半导体压力传感器的最近研制现状与开发动向。

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