作者：王逊,张云峰,唐振松 单位：中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所 出版：《真空》2018年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKZK2018040360 DOC编号：DOCZKZK2018040369 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 石英真空计测量范围是10~(-1)Pa-10~5Pa。石英真空计的优点是传感器体积小，耗电功率小，精度较高，量程较宽，因而它将会有广泛的应用。

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