《石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究》PDF+DOC
作者:王俊杰,车录锋,吴浩,王跃林
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2007年第01期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2007010130
DOC编号:DOCCGQJ2007010139
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针对石油勘探的应用需求,分析了MEMS加速度传感器及其检测电路的噪声源,并对不同电路结构的噪声进行了比较。根据分析结果,采取多种措施进行了改进,振动测试结果表明:传感器分辨力由原来的大于0.01m/s2提高到0.001m/s2,进一步提高了MEMS加速度传感器的性能。
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