《基于MEMS的智能集成汽车传感器的研究》PDF+DOC
作者:吕良,邓中亮,刘玉德,连美霞
单位:北京工商大学
出版:《食品科学技术学报》2007年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBQGB2007040060
DOC编号:DOCBQGB2007040069
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随着汽车传感器的迅速发展和MEMS技术的深入研究,基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景.本文从传感器原理、MEMS技术理论与制造工艺、智能传感器理论与控制算法、软件与硬件实现、以及集成原理与工艺等几个方面,综合运用MEMS技术、人工智能、信息融合、半导体加工等先进技术,研究基于MEMS技术的智能集成汽车传感器问题.最后对MEMS汽车传感器今后的发展研究进行了探讨。
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