作者：吕良,邓中亮,刘玉德,辛洪兵 单位：中国电工技术学会 出版：《电工技术学报》2007年第04期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDGJS2007040140 DOC编号：DOCDGJS2007040149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 随着汽车传感器的迅速发展和对MEMS(微机电系统)技术研究的深入，基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景。本文就MEMS汽车传感器的研究应用现状、MEMS汽车传感器的分类、制作加工技术和工艺等进行了简述，并详细介绍了几种典型的MEMS汽车传感器，最后对MEMS汽车传感器今后的发展进行了探讨。

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