作者：严庆文,魏益群,李业隆,沈美娥,朱嘉林 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2007年第Z1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2007Z10820 DOC编号：DOCBDTQ2007Z10829 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 以声表面波中的陀螺效应为理论基础，通过数值计算获得了LiNbO3基底上声表面波波速随基底转动速率的变化，以此为依据设计了一种双通道声表面波转速敏感结构，制作出双通道声表面波转速传感器。通过实验，该传感器的分辨率为12Hz/r.s-1。

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