作者：杨建中,尤政,刘刚,康春磊,田扬超 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2008年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2008020060 DOC编号：DOCGNCQ2008020069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于MEMS技术的微型磁通门式磁敏感器是磁场测量技术和微机电系统(MEMS)技术交叉研究领域的一个热点，在航空航天领域特别是在纳型/皮型卫星技术中有着重要的应用。本文介绍了该类磁敏感器所运用的磁通门效应的原理。从磁芯、线圈和整体结构布局等方面分析了现有的各种微型磁通门式磁敏感器的结构特征。并依据磁通门原理和各种微型磁通门式磁敏感器的结构特点，设计了一种两轴微型磁通门式磁敏感器。这种新型的磁敏感器具有对称结构、闭合磁路、差动形式、柔性连接等显著特点。

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