《Pt掺杂对Sb:SnO_2薄膜酒敏性能的影响》PDF+DOC
作者:洪求三,傅刚
单位:巢湖学院
出版:《巢湖学院学报》2008年第06期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCHXY2008060150
DOC编号:DOCCHXY2008060159
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采用非醇盐溶胶-凝胶工艺在Al_2O_3基片上旋转涂敷制得掺Sb的SnO_2薄膜。再经直流溅射制得掺Pt的Sb:SnO_2薄膜,探讨了不同Pt添加量对气敏性能的影响。结果表明,对Pt的溅射时间为90s时,元件对50ppm浓度乙醇气体的灵敏度高达43。经选择性研究表明,该元件有较好的选择性和优异的酒敏特性。
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