作者：董永芬,李隆玉,冯春岳,姜卫粉,李新建 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2008年第06期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2008060030 DOC编号：DOCGNCQ2008060039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《湿度传感器及其变送器》PDF+DOC2001年第03期 崔敬花,孙立红 《BST/Si-NPA复合薄膜的湿敏电容特性研究》PDF+DOC 肖顺华,李隆玉,姜卫粉,李新建 《基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜的电容湿敏性能研究》PDF+DOC2007年第12期 李隆玉,肖顺华,董永芬,冯春岳,姜卫粉,李新建 《高分子型湿敏传感结构材料及器件》PDF+DOC1999年第03期 杨慕杰,李扬 《Zn_2SnO_4-LiZnVO_4系湿敏陶瓷材料的研究》PDF+DOC1993年第01期 曲宝涵,张天舒,王弘,沈瑜生 《纳米ZrO_2基烧结型双敏元件的研究》PDF+DOC2004年第03期 陈伟,黄世震,林伟,黄兆新,李成泉,孙吉 《几种典型湿度传感器的原理和概要分析》PDF+DOC2009年第01期 韩悦文 《电容式湿度传感器的感湿机理复合模型》PDF+DOC 王珍媛,顾铮■ 《退火对电容型硅纳米孔柱阵列湿度传感器性能的影响》PDF+DOC2008年第07期 吉慧芳,董永芬,李隆玉,姜卫粉,吕运朋,李新建 《γ-Fe_2O_3/硅纳米孔柱阵列湿敏元件的湿敏性能研究》PDF+DOC2008年第07期 王海燕,李隆玉,董永芬,李新建

    • 采用匀胶旋涂技术将WO3溶胶沉积在硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)衬底上，经500℃退火制得WO3/Si-NPA复合薄膜。场发射扫描电镜和X射线衍射的表面形貌和结构分析表明，WO3在Si-NPA表面形成连续薄膜，且复合薄膜保持了Si-NPA规则阵列结构的特点。湿敏测试结果显示：在11%到95%的相对湿度范围内，WO3/Si-NPA湿敏元件输出电容强，且随测试频率的增加而单调降低；随着WO3薄膜厚度的增加，湿敏元件灵敏度明显增大，但元件相应的响应/恢复时间却延长。

    📙 相关资料

    1. 《湿度传感器及其变送器》PDF+DOC 介绍近来发展起来的薄膜电容湿度传感器的变送器信号调解电路及变送器的标定 。...
    2. 《BST/Si-NPA复合薄膜的湿敏电容特性研究》PDF+DOC 本文采用溶胶-凝胶法和旋涂工艺，以Si-NPA为衬底，制备了钛酸锶钡(BST)/Si-NPA复合薄膜，并对其形貌、结构及湿敏电容特性进行了研究。结果表明，环境的相对湿度(RH)、测试信号频率和退火温度均对湿敏电容特性具有较大影响。在100Hz的测试信号频率下，当环境的相对湿度从11%上升到95%时，......
    3. 《基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜的电容湿敏性能研究》PDF+DOC 采用溶胶-凝胶和旋涂技术制备了基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜(BaTiO_3/Si-NPA).场发射扫描电镜和X射线衍射实验表明，钙钛矿结构BaTiO_3薄膜很好地覆盖了Si-NPA表面.通过蒸镀双面梳状电极，制作了电容型BaTiO_3/Si-NPA湿敏元件并对其湿敏性能进行了测试.结果表明，......
    4. 《高分子型湿敏传感结构材料及器件》PDF+DOC 综述了湿敏传感器的研究进展。重点介绍了四类高分子型湿度传感器：电容型、电阻型（电子导电型和离子导电型）、声表面波（ＳＡＷ）型和光敏型。同时还简要介绍了新一类聚炔湿敏传感结构材料的研究结果，及今后该研究领域的发展方向...
    5. 《Zn_2SnO_4-LiZnVO_4系湿敏陶瓷材料的研究》PDF+DOC 报道了Zn_2SnO_4为主晶相，LiZnVO_4为感湿体的多孔湿敏陶瓷材料的制备、结构及性能之间的关系；并通过阻抗谱测试对材料湿敏机理进行了初步探讨。实验表明LiZnVO_4的加入大大改变了材料的微结构和湿敏灵敏度。...
    6. 《纳米ZrO_2基烧结型双敏元件的研究》PDF+DOC 纳米ZrO2 作为一种新型的陶瓷材料已被应用于许多领域。本文主要介绍了低温强碱法制备纳米ZrO2 材料 ，利用纳米ZrO2 进行掺杂制作的元件有较好的气、湿敏特性。元件具有响应恢复快、结构简单等特点。作为湿敏元件时元件电容随湿度变化大 ，温度影响较小。作为电阻型气敏元件时 ，元件对NH3的选择性高。...
    7. 《几种典型湿度传感器的原理和概要分析》PDF+DOC 湿度是一个重要的物理量，航空航天、计量等许多环境中需要在高温下进行湿度的测量.目前用于低温下测量的湿敏传感器主要有3类：电解质湿度传感器、半导体陶瓷湿度传感器和有机高分子聚合物湿度传感器.对湿度传感器的几种典型原理作了简要介绍，概要分析了湿度传感器用于高温测量的发展趋势。...
    8. 《电容式湿度传感器的感湿机理复合模型》PDF+DOC 本文针对半导体湿敏陶瓷材料提出了一种新颖实用的复合新模型，给出了该模型的理论方程和感湿曲线，通过计算机理论模拟与实验结果的对比，证明了该复合模型的合理性，为今后的湿敏传感器研究奠定了基础。...
    9. 《退火对电容型硅纳米孔柱阵列湿度传感器性能的影响》PDF+DOC 基于硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)制备电容型湿度传感元件，并在250℃、450℃和550℃三个温度下对元件进行退火处理。测试数据显示，在测试温度低于550℃时，Si-NPA湿敏元件灵敏度随退火温度的升高而增大，但响应时间略微延长，湿滞回差略微增大；550℃退火后，元件的灵敏度急剧降低。采用场发射扫描......
    10. 《γ-Fe_2O_3/硅纳米孔柱阵列湿敏元件的湿敏性能研究》PDF+DOC 利用匀胶旋涂技术，将微乳-水热法制备出的、粒径均匀可控的γ-Fe2O3纳米颗粒沉积在具有独特微纳双重结构的硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)基片上，制成γ-Fe2O3/Si-NPA湿度传感元件，并对其进行湿度感应测试结果发现，当环境相对湿度(RH)从11%升高到95%时，该元件的电容和电阻分别呈高灵敏度......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。